顾长明失魂落魄地盯着那台银白色的巨兽。
他始终不敢相信,那是5纳米的光刻机。
夏国的工业底子是什么样,没人比他更清楚。
即是那行中文铭牌像耳光一样贴在他脸上。
他那构建了三十年的认知堡垒,依旧在负隅顽抗。
“顾长明,看够了吗?”
牛一文火爆的声音传来,
“看够了就让你的人动起来,别眈误正事。”
顾长明猛地回神,转过头。
“我不信,我要验机。”
顾长明指着那台机器质问道,
“连高端轴承钢都要进口,凭什么造出euv?凭什么?”
“万一是个空壳子?万一里面装的是32纳米改的呢?”
“不通电,不跑片,我不信!”
牛一文刚准备继续痛骂,林辰却抬手拦住了他。
林辰淡淡一笑。
“真金不怕火炼。”
林辰语气十分随意“既然顾所长不见棺材不落泪,那就让他见见。”
“不过,顾所长,让你的人动作快点。”
随后顾长明效率惊人。
或者说,为了证明自己是对的。
为了证明夏国不可能有这种“神迹”。
他爆发出了前所未有的执行力。
备用实验室在二十分钟内被彻底清空。
赵德发一挥手。
全副武装的工程兵迅速上前,配合重型吊装设备,开始作业。
那台刻着“星辰科技”铭牌的机器,被稳稳安置在实验室中央。
实验室大门轰然关闭。
厚重的防辐射玻璃墙外,挤满了研究所的技术骨干。
每个人的脸上都写满了忐忑。
还有藏在眼底,那股不敢说出口的期盼。
无尘实验室内。
顾长明穿上了全套防尘服,只露出一双锐利得吓人的眼睛。
他站在主控台前。
“听好了。”
声音通过麦克风传遍全场。
“按照al最严格的出厂标准测。”
“光源系统、双工件台精度、物镜数值孔径……每一个参数,都给我核实三遍!
“只要有一个不达标,立刻停机!”
观察室里。
赵德发突然开始紧张起来,“林辰,稳得住吗?”
“顾所长这人虽然爱眩耀,但在技术上可是出了名的轴。。”
林辰表情十分轻松:“赵局,您就当是在看一场猴戏好了。”
实验室内。
顾长明深吸一口气。
手指颤斗着按下了那个红色的激活键。
嗡——!
低沉的轰鸣声响起。
声音浑厚,带着一种直击灵魂的穿透力。
那是大功率极紫外光源被激发时特有的声浪。
如同深海巨鲸的低吟。
“供电系统正常!”
“真空腔体压力正常!”!”
技术员的声音越来越高亢。
带着明显的颤音。
唰!
机身上,数万个状态指示灯瞬间被点亮。
全绿。
没有一个红灯报警。
这种工业暴力美学带来的视觉冲击,让玻璃墙外的所有人都下意识地屏住了呼吸。
“切入自检模式,调出光学参数!”
顾长明死咬着牙关下令。
大屏幕上,数据流疯狂刷屏。”
“所长,这……这是标准euv的参数。”
顾长明死死盯着屏幕:
“别急!看光源!光源才是内核!”
“那是造假造不出来的!”
euv光刻机,难就难在光源。。
这个过程对能量控制的要求,相当于在狂风暴雨中。
站在过山车上用机枪打中一只蚊子的左眼。
西方最顶级的机型,也不过250瓦。
屏幕上的数据条开始疯狂向上攀升。
100w……
200w……
瞬间突破了顾长明认知的极限。
250w!
“到了!”顾长明低吼,“这就是极限了!哪怕是al……”
话音未落。
数据猛地又向上窜了一大截。
300w!
400w!
最终定格。
【lpp光源实时输出功率:500w】
啪嗒。
顾长明手中的特制防静电记录笔掉在了地上,摔成了两截。
“五……五百瓦?”
旁边那个负责光源检测的技术员,象是见了鬼一样,
“所长,我是不是眼花了?”
“这比al最先进的还要高一倍?”
500w意味着什么?
意味着曝光速度翻倍,意味着良品率的大幅提升!
这是西方梦寐以求却迟迟无法攻克的技术高地!
现在,就在这间备用实验室里。。
在这台国产机器里,轻描淡写地实现了?
“假的……一定是软件造假……”
顾长明还在喃喃自语,
“我不信……这是提前写好的程序……”
“起开!”
一直站在旁边的牛一文一巴掌把他推开。
“磨磨唧唧!看个屁的数据!”
老院士双手在键盘上飞舞。
“上晶圆!”
牛一文一声令下。
机械臂无声地滑动,将一片早已准备好的12英寸硅晶圆送入曝光台。
“加载5纳米逻辑电路掩膜版!”
“对准!”
“曝光!”
嗤——
极其轻微的声响。
高能光束轰击光刻胶。
这也是顾长明这辈子听过的,最悦耳的声音。
短短十几秒。
“曝光完成。”
牛一文没有丝毫停顿,操作行云流水:
“显影!上电镜!”
实验室里没人说话,只有机器运转的细微嗡鸣。
所有人的目光都集中在那块巨大的显示屏上,那里连接着那台千万级的电子显微镜。
屏幕亮起。
图象开始放大。
100倍……1000倍……10000倍……
原本光滑的晶圆表面,在微观世界里展现出了它的真容。
那是一座迷宫。
一座精密到令人窒息的、由无数条纳米级线路构成的宏伟迷宫。
线条笔直,边缘锐利。
没有毛刺,没有断裂。
完美。
只能用完美来形容。
屏幕右下角,实测数据跳出。
死寂。
整个研究所陷入真空般的死寂。
这已经不是打脸了。
这是降维打击。
这是把西方引以为傲的半导体技术壁垒,按在地上摩擦。”。
从他大学毕业进入这一行开始,整整三十年。
他听过太多嘲讽。
“你们夏国人造不出光刻机。”
“euv?下辈子吧。”
他习惯了低头,习惯了求人。
习惯了花几倍的价钱买人家淘汰的工业垃圾,还要陪着笑脸说谢谢。
他以为这辈子都要这么过了。
他以为夏国的半导体,注定要在黑暗里摸索很久很久。
可是今天。
此时此刻。
天亮了。
“噗通。”
顾长明双膝一软,重重地跪在了坚硬的防静电地板上。
他没有去擦眼泪,任由那些滚烫的液体肆意流淌。
“呜……”
起初只是压抑的呜咽。
紧接着,声音越来越大,越来越无法控制,仿佛要将这半辈子的委屈全部哭出来。
“啊!!!”
顾长明跪在那台光刻机面前,嚎啕大哭。
哭得撕心裂肺,哭得肝肠寸断。
他是个体面人,是所长,是受人尊敬的专家。
但这一刻,他只想哭。
为自己的有眼无珠,为那台被他视若珍宝的28纳米的洋垃圾而哭。
更为这三十年的屈辱,一朝雪耻而哭!
“顾所……”
旁边技术员想去扶他,却被牛一文拦住了。
牛一文看着跪地痛哭的顾长明,眼框也红了。
他没说话,只是伸手拍了拍顾长明的肩膀,力道很重。
“哭吧。”
“哭出来就好了。”
“这口气,咱们憋得太久了。”
玻璃墙外,不知道是谁先开始的。
一个人摘下了眼镜,抹起了眼泪。
接着是第二个,第三个……
整个走廊里,只有压抑的啜泣声。
那不是悲伤。
是喜极而泣。
是黑暗中行走了太久的旅人,终于看到太阳时的惊喜。
观察室内。
赵德发红着眼,转身看向林辰。
啪!
他敬了一个标准的军礼。
“晨光,我代表夏国,谢谢你。”
林辰回以微笑。
夏国在芯片领域终于有了自己的脊梁。
但这只是开始。