第16章 研发进度(1 / 1)

不知不觉中,时光飞逝,春节眼看着临近了。

徐卫国今年肯定是没办法回家过年了,只好写了一封信寄回家,免得家里人担心。当然,他在干什么肯定是不能说的,只说自己要在学校多学点东西。

值得一提的是,徐卫国前不久已经拿到了京大的毕业证,并正式成为了科学院物理所的一员,果然是三级研究员。

月底,他还拿到了自己的第一笔工资,一百七十五元。

拿出一百块还给了张希德,剩下的钱他给自己买了几身内外衣服,转眼又花了个干净。

好在他吃住都有公家管着,平时也基本不花什么钱。

除夕这天,徐卫国给团队所有人放了两天假,没日没夜的忙活了一个多月,春节再不让放松一下也实在说不过去。

毕竟,这项目并没有一个期限限制,没必要赶那么急。

左右也是无事,徐卫国干脆又去了周家,借宿两天,算是把这个年给过了。

……

过完年,徐卫国又带领团队投入了紧张的研发过程中。

三月初,各项研发工作开始进入收获期。

第一个完成的分项目是光刻胶,在进行大量实验后,团队先是成功制取出了苯乙烯-丁二烯共聚物(sbr),这是第一代光刻胶的主要成分。

仅仅一周后,他们又制取出甲基丙烯酸甲酯作为交联剂,解决了光刻胶易变黄的问题。至此,第一代光刻胶的研发工作正式完成。

第二个完成的分项目是扩散炉,它用于扩散工艺,作用是将杂质元素引入硅片以形成pn结或电阻等组件。

随后,氧化设备,蒸发台、外延生长设备、研磨抛光设备等项目也相继完成研发。

到五月时,所有项目就只剩下光刻机还没有完成了。

而光刻机这个大系统中,所有分系统其实都已经做出来了,问题卡在精度上。

如果现有分系统直接组装起来投入使用,光刻机的定位精度将低于五微米,曝光图形精度(线宽)则在十微米级别,这个水平远远达不到徐卫国的预期,距离历史上第一台商业化光刻机精度也差的太远。

徐卫国当然是不甘心拿个次品出来的,他宁愿把研发时间拉长,继续精雕细琢。

这一拖,就拖到了七月。

这天上午,晴空万里,徐卫国照例待在实验室,亲自参与光刻机的调试改进。

正忙着,实验室门口突然来人了。

却是所长严纪慈。

此时的徐卫国正坐在显微镜前观察刚制作出来的掩模版,严纪慈并未打扰他,只是在一旁站着观看。

直到徐卫国从显微镜前站起来,跟一旁的同伴吩咐了几句,一转身,这才看到严纪慈。

“所长!您什么时候来的。”

严纪慈笑道:“我也刚来没多久。……你们这确实是凉快啊!我都不想走了。”

徐卫国笑了笑,他们这是恒温实验室,安装了大功率空调的,倒不是搞特殊,而是因为温度会影响设备精度,不得不装。

不过在这炎炎夏日,在空调房工作也确实是一种享受,大家都不大愿意出门。

“您找来是有什么事吗?”徐卫国。

严纪慈点点头:“我来就是想问你,光刻机研发什么时候能完成?……离十月一就剩不到三个月了,我想最好是能在那之前造出第一款集成电路,为国庆献礼。当然,如果来不及的话就当我没说,你们还是按你们的进度来。”

徐卫国道:“应该是来得及。其实吧,光刻机我们已经造出来了,问题是精度不及预期,现在我正在改进中。”

“精度问题……你有解决方案吗?”

“有。不瞒您,我脑子里有的是办法,奈何缺了太多设备,现在只能用笨办法慢慢摸索。”

这倒是大实话,比如光学系统精度,想提高离不开干涉仪辅助,但这东西还在研发,想用上不知要到哪年月了。

再比如掩模版的制作精度,没有电子束光刻,就很难制作精细图案。激光直写倒是一个解决方案,但红宝石激光器同样也刚开始研发。

“具体说说你的笨办法。”严纪慈饶有兴致的问道。他自己本身就是光学研究领域的专家,加之一直在关注徐卫国的研发进展,在光刻机上算是内行人。

徐卫国点点头,说道:“就比如这掩模版,我现在尝试用分步重复曝光的办法,也就是先制作大尺寸母版,再用光学微缩复制到掩模版上。试验结果还行,精度提高了不少。

再比如对准精度,手动对准精度有限,我自己设计了一套机械-光学混合对准系统,现在还没造出来,但估计也就这几天了。”

严纪慈:“听起来是很不错的解决办法。……呵,我本想帮你参谋参谋,提一些建议,现在看是不用了。”

徐卫国:“让您费心了。”

“嗐,我费什么心啊。技术上我也帮不上什么忙,都是瞎操心。”

严纪慈看着徐卫国,突然感叹道:“都说隔行如隔山,科研上更是如此。我都好奇,你这脑子是怎么长得,怎么就什么都懂呢?”

徐卫国咧嘴笑道:“我是天才嘛,不能以常理度之。”

严纪慈哈哈笑了起来,道:“说的没错,不能以常理度之。……行了,你继续忙,我先回去了。”

“您慢走!”

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