第二天清晨，吕辰三人吃过早饭，在校门口与郑老师汇合。
经过警卫的严格检查后，一起来到微波技术与高频电路实验室。
郑老师边走边介绍微波实验室的基本情况，1958年苏联专家帮助建立实验室，后来苏联撤援，但设备和基础留了下来，这些年教研一体，在雷达、通信领域做了不少工作。
一楼最大的实验室约有二百平米，靠墙摆放着一排深灰色的机柜，上面布满了旋钮、表头、指示灯和示波器屏幕。
房间中央是几张宽大的实验台，上面散落着各种微波器件，波导管、耦合器、谐振腔、天线阵列模型，还有用有机玻璃封装的各种滤波器、放大器模块。
有从民主德国进口的hp-855a频谱分析仪，频率范围到1ghz；有苏联产的ukb-3型网络分析仪，能做s参数测量；也有自制的微波信号源和功率计……
总体上来说，比西方最新产品落后一代。
但经过成电的反复校准和维护，基本参数还是可靠的。
郑老师走到一台示波器前，打开电源。
绿色的扫描线亮起，有些抖动，但很快稳定下来。
“这台示波器是1955年产的，带宽只有20hz。”郑老师拍了拍机壳，“但在我们手里，它见证了第一套国产微波中继通信系统的调试，也测过歼击机雷达天线的方向图。设备老不老，关键看用的人。”
吴国华俯身仔细观察那些微波器件：“郑老师，这些滤波器、放大器都是你们自己设计的？”
“大部分是。”郑老师从实验台上拿起一个银色的腔体滤波器，“比如这个，中心频率960hz，带宽30hz，用于某型警戒雷达的接收前端。设计是我们做的，加工是委托成都前锋无线电仪器厂做的。铝材切削、表面镀银、调谐螺钉，每一个环节都摸索了很久。”
他打开滤波器一侧的盖板，露出内部精密的谐振腔结构：“最难的是调谐，每个谐振腔都要用特制的小扳手反复调整螺钉深度，配合网络分析仪一点点找最佳点。一个八腔滤波器，调好要两天时间，全凭手感加仪器。”
这种毫米波段的腔体滤波器，对加工精度和装配工艺的要求极高。
成电能在简陋条件下做出这样的器件，证明了他们在高频机械设计和精密加工方面有深厚的积累。
郑老师领着三人来到实验室里侧的一个工作台。
台上摆放着一套复杂的测试系统，微波信号源通过同轴电缆连接到一个金属屏蔽盒，盒子上伸出多根线缆连接到示波器和频谱仪。
打开屏蔽盒，里面是一块约巴掌大小的电路板。板子是一种深褐色的陶瓷基板。
板上用银浆印刷着精细的微带线图案，几个芝麻大小的半导体器件焊接在线端。
“这是我们在研的s波段低噪声放大器。”郑老师介绍，“频率23-25ghz，噪声系数目标3db以下。基板用的是九五瓷，介电常数96，适合高频。晶体管是从苏联进口的2t312a，截止频率大概4ghz。”
钱兰凑近观察：“这个匹配网络设计很精巧，是用史密斯圆图算出来的？”
“对！”郑老师有些惊讶地看着钱兰，“钱工懂这个？”
“学过基础理论。”钱兰谦虚地说，“但实际设计还是第一次见到。郑老师，这样的放大器，一般要调哪些参数？”
郑老师拿出一本厚厚的实验记录本，翻开其中一页：“主要调输入输出匹配网络中的微带线长度和并联电容。你看，这是我们记录的调试数据：每改变05线长，驻波比变化01；并联电容从05pf增加到1pf，中心频率偏移15hz……”
记录本上密密麻麻写满了数据，还贴着手绘的史密斯圆图和频率响应曲线，字迹工整，图表清晰，透着一股严谨的科学精神。
钱兰仔细研究那些曲线：“郑老师，24ghz附近这个谐振点，q值很高，是有意设计的？”
“观察得仔细！”郑老师赞许道，“这是为了抑制镜像频率干扰。我们在这个频段有个很强的干扰源，所以在放大链中特意加了一个窄带滤波器。q值高意味着选择性好，但代价是通带变窄、插入损耗增加，这是折中的艺术。”
成电在高频电路设计方面，已经形成了从理论计算、器件选型、版图设计到实验调试的完整方法论。
虽然设备简陋，但方法论是先进的。
离开微波实验室，他们来到隔壁的真空电子与器件实验室。
这个实验室被分成几个区域，一侧是几台圆柱形的真空镀膜机，银白色的腔体上布满了观察窗、电极接口和真空计接口；另一侧是几个真空试验舱，舱门厚实，配有双层玻璃观察窗；中间是控制台，上面密密麻麻的仪表、记录仪和手动阀门让人眼花缭乱。
一位五十多岁的研究员正在调试一台镀膜机。
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看到郑老师进来，他关掉设备，摘下手套走过来。
“老郑，带客人来了？”
“李工，这三位是北京红星所的专家，吕辰、吴国华、钱兰同志。”郑老师介绍，“这位是李昱才老师，咱们真空实验室的元老，从上海交大迁校时就来了。”
李工与三人一一握手：“欢迎欢迎。北京来的专家，是来看我们的土设备吧？”
他的语气里带着几分自嘲，但眼神中透着自豪。
吕辰连忙说：“李工客气了，我们来的路上就听说，成电的真空技术在全国都是一流的，特别是在高频器件封装方面，有很多独到之处。”
李工的脸色缓和了些：“一流谈不上，但确实解决了一些实际问题。来，看看我们这台老家伙。”
他带众人走到那台真空镀膜机前：“这台是59年从民主德国进口的，当时是为了研制微波电子管——行波管、速调管这些，现在用来做高频晶体管的真空封装。”
他打开控制柜的门，里面是令人眼花缭乱的继电器、定时器、电压电流表：“全手动控制，抽真空分三级，前级机械泵抽到10-2帕，开扩散泵抽到10-4帕，最后用分子泵抽到10-6帕。每一步都要看真空计读数，手动开关阀门，控制加热电流。”
吴国华仔细看着有些褪色的标签：“李工，抽到10-6帕要多长时间？”
李工的语气有些无奈：“顺利的话，八个小时，但经常不顺利。密封圈老化、真空脂干涸、系统有微漏……”
“那镀膜过程呢？”
“更麻烦。”李工指着设备另一侧一个透明的石英窗口，“镀金、镀铝、镀二氧化硅，不同的材料用不同的蒸发源。金用钨丝篮蒸发，铝用钽舟，二氧化硅用电子束轰击。蒸发速率、基片温度、旋转速度，全凭经验控制。”
吕辰翻开操作台上的厚厚日志，上面记录着每次实验的参数、现象、结果。
随便打开一页：1962年3月17日，样品编号vt-312，镀金膜。托，基片温度150c，钨丝电流85a，蒸发时间3分20秒。膜厚约800?（用多光束干涉仪测量），均匀性±15，附着力良好（胶带测试通过）……”
记录详细得令人惊叹，连当天的大气压力和实验室温度都有记载。
“李工，你们测量膜厚用什么方法？”吕辰问。
李工从抽屉里拿出一套光学器件：“这是自制的多光束干涉仪，原理是从英国文献上看来的，在基片上贴一小块玻璃片，镀膜后在交界处会产生干涉条纹。数条纹数，根据光的波长算膜厚，精度能达到几十埃。”
他又拿出几片不同颜色的玻璃片：“这是‘比色法’，把镀好的膜和标准色板对比，根据颜色判断膜厚范围。经验丰富的老师傅，用这个办法能估到100?以内。”
虽然精度和效率无法与国外先进水平相比，但方法论是科学的，数据是真实的。
离开真空实验室，郑老师又带他们参观了材料分析与半导体实验室、脉冲电路与数字逻辑实验室、环境可靠性测试平台。
每一个实验室，都让吕辰三人既感慨又振奋。
参观完所有实验室，已是中午时分。
郑老师带他们在学校食堂简单用餐。
饭后，四人来到行政楼的一间会议室。
下午两点，会议室里陆续坐满了人，除了昨天见过的王振华、李建国、张明远三位老师，还有微电子系的王主任，以及相关专业的十多位教授、讲师。
王主任五十多岁，头发花白，戴着黑框眼镜，有着典型的知识分子气质。
他起身与吕辰三人一一握手：“欢迎三位同志，老郑已经向我汇报了，为‘星河计划’寻找高频领域的技术支持，我们成电很感兴趣。”
众人落座后，王主任开门见山：“咱们就不客套了，直接进入正题。吕辰同志，能否先介绍一下‘星河计划’目前的进展，以及你们在高频领域遇到的具体问题？”
吕辰起身，在会议室的黑板上画了一个简图，开始介绍起来：“……目前我们已经建立了从设计、制造到测试的完整技术链，掌握了5微米工艺……”
讲完进度，吕辰开始讲芯片频率的技术难点：“但是，我们目前的芯片工作频率只能达到1hz左右，这严重限制了应用范围。通信、雷达、电子对抗这些关键领域，需要的芯片频率至少在几十hz甚至ghz量级，这就是我们面临的核心瓶颈，也是我们来成电的原因。”
钱兰从公文包里取出一份厚厚的文件，递给王主任。
“王主任，这是我们整理的技术需求清单，共分六个大类，三十七个子项。”
王主任接过文件，戴上眼镜仔细翻阅，其他老师也传阅着复印件。
清单详细列出了“星河计划”在高频领域需要攻克的技术难点：
高频晶体管器件物理与结构设计
微波无源器件（滤波器、耦合器、匹配网络）的芯片微型化
高速互连的传输线模型与设计规则
低寄生参数封装技术
高频参数测试方法与标准
高频集成电路的可靠性评估方法
每一项都附有详细的技术指标、现状分析和预期目标。
会议室里安静下来，只有翻动纸张的沙沙声。
良久，王主任抬起头：“这份清单很专业，也很务实，没想到还不到一年，星河计划就已经深入到如此地步。”
他转向其他老师：“各位，有什么问题，可以直接问。”
王振华老师第一个发言：“吕辰同志，你们现在的高频晶体管研究进展如何，用的是硅材料还是其他材料？”
“目前还在硅材料上探索。”吕辰如实回答，“我们在研究缩短沟道长度、减小结面积、优化掺杂分布等方法，希望把硅晶体管的截止频率提高到几百hz。但长远看，要实现ghz频率，可能需要砷化镓或其他化合物半导体。”
“砷化镓我们有一些研究。”材料实验室的孙教授说，“我们实验室能拉制直径2英寸的砷化镓单晶，纯度达到6个9。但器件工艺还不成熟，主要是欧姆接触和表面钝化问题没解决。”
“这正是我们可以合作的方向。”吕辰说，“‘星河计划’有完整的平面工艺线，可以做光刻、扩散、薄膜沉积。如果成电提供材料，我们可以尝试制作简单的砷化镓器件，共同摸索工艺条件。”
孙教授眼睛一亮：“这个思路好！我们以前只能做材料表征，做不了器件。如果你们有工艺能力，我们可以深度合作！”
李建国老师接着问：“高频封装方面，你们有什么具体设想？现在的金属-陶瓷封装，在高频下寄生电感、电容很大。”
“我们有几个思路。”吴国华接过话头，“一是研究多层陶瓷封装，用低温共烧陶瓷(lt)技术制作埋置式无源器件和三维互连；二是研究倒装焊(flip chip)技术，缩短芯片与封装间的引线长度；三是探索硅基封装，直接在硅片上制作再分布层和微凸点。”
他顿了顿：“但这些都需要真空镀膜、精密光刻、高温烧结等工艺。成电在真空技术和陶瓷材料方面有基础，我们可以联合攻关。”
张明远老师关心测试问题：“高频参数测量，需要矢量网络分析仪、探针台等昂贵设备……”
……
讨论持续了一个多小时，成电的老师们从各自专业角度提出问题，吕辰三人一一解答。
双方越聊越深入，很多想法不谋而合。
最后，王主任清了清嗓子，会议室安静下来。
王主任缓缓说道：“星河计划在高频领域的需求是真实的，技术路线是清晰的。而成电在这些相关领域的技术积累，确实能够为星河计划提供支撑。”
他看向吕辰：“吕辰同志，我原则上同意成电加入‘星河计划’，在高频集成电路领域开展全面合作。但有几个问题需要明确。”
“王主任请讲。”
“第一，合作的组织形式，是成立联合实验室，还是项目组形式？”
“我们建议成立‘成电—星河计划高频技术联合实验室’。”吕辰早有准备，“实验室设在成电，由成电提供场地、设备和主要研究人员，‘星河计划’提供部分经费、技术需求和工艺支持。实验室主任由成电推荐，‘星河计划’派副主任。研究成果双方共享。”
王主任点头：“这个模式可行。第二，研究方向。虽然清单列出了三十七个子项，但我们需要确定优先级，集中力量攻关最关键的几个方向。”
“我们建议先从四个方向启动。”吕辰说，“一是高频晶体管器件物理与设计，这是基础；二是芯片上无源器件设计，直接影响电路性能；三是高频测试方法与标准，这是共性技术；四是高频集成电路的可靠性评估方法，这关系到产品能否实用。”
“合理。”王主任认可，“第三，人才培养。集成电路是新兴领域，需要大量专业人才。成电可以开设相关课程，但需要‘星河计划’提供教材和实践机会。”
“我们正在编写集成电路设计教材。”吕辰说，“如果合作达成，我们可以派专家来成电授课。同时，成电可以选派优秀学生到北京，参与‘星河计划’的实际项目，形成人才双向流动。”
王主任满意点头：“各位，还有什么补充？”
王振华老师举手：“我建议，以联合实验室的名义，申请国家级高频集成电路重点课题。这样既能获得经费支持，也能提升项目的重要性。”
“好建议！”吕辰立即响应，“星河计划可以协助申请，我们在部委有一些资源。”
李建国老师补充：“合作不能只停留在科研层面，应该考虑中试和转化，将来做出样品后，要能找到应用场景，进行实际验证。”
“这正是我们需要的。”吕辰说，“星河计划有明确的应用牵引——雷达、通信、电子对抗。一旦高频芯片研制成功，立即就有用户单位进行测试和应用。”
讨论至此，合作的大框架已经清晰。
王主任站起身，神色郑重：“吕辰同志，我现在正式代表成电微电子系，表达加入‘星河计划’的意愿。我们将以高频集成电路为核心方向，全力支持国家集成电路产业发展。”
他顿了顿：“不过，这样的重大合作，我需要向学校党委汇报。同时，你们也需要得到‘星河计划’指挥部的正式授权。”
“我明白。”吕辰说，“我现在就可以给北京的刘星海教授打电话，汇报今天的讨论结果，请求授权。”
王主任看了看手表：“现在是下午三点半。这样，你们先去我办公室打电话。我们在这里准备合作备忘录的草案。如果北京方面同意，我们今天就可以签署意向性备忘录，详细协议后续再拟。”
“好！”
吕辰三人跟随王主任来到他的办公室，吕辰深吸一口气，拿起电话。
“总机，请接北京，清华大学，转红星工业研究所……”
大约五分钟后，听筒里传来了刘星海教授的声音。
“喂？我是刘星海。”
“刘教授，我是吕辰。我们现在在成都电讯工程学院。”
吕辰用最简洁的语言，汇报了这两天在成电的考察和讨论情况，重点介绍了成电在高频技术方面的积累，以及双方达成的合作意向。
电话那头沉默了片刻，然后传来刘教授清晰的声音：“吕辰，你们做得很好，成电在高频领域确实有独特优势，他们的加入对‘星河计划’突破高频瓶颈至关重要。”
“教授，我们现在需要您的正式授权，与成电签署合作备忘录。”
“我授权。”刘教授毫不犹豫，“以‘星河计划’指挥部和红星工业研究所的名义，与成都电讯工程学院签署高频集成电路联合研发合作备忘录。具体条款你们把握原则，但必须明确：成果共享，知识产权清晰，人才培养机制健全。”
“明白！”
“另外，”刘教授补充，“你告诉成电的王主任，四月的第二届百工联席会议期间，我们将举行星河计划全体会议，讨论下一阶段布局。请他或成电的代表务必参加，在会上正式确认合作，并领取研究任务。”
“好的，我一定转达！”
挂断电话，吕辰长舒一口气，看向吴国华和钱兰。
两人眼中都闪着兴奋的光。