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第455章 硅片上的凤凰,浴火初啼(1 / 1)

一月一日,凌晨三点二十二分。

“华夏芯”洁净车间内的空气仿佛凝固了。中央控制台前,十二块监控屏幕中的三块同时闪烁着刺眼的黄色警报——不是红色,但比红色更让人揪心。黄色代表“参数偏离阈值但未超限”,意味着工艺正在危险边缘试探,随时可能滑向失败。

温知秋的右手食指关节因为用力按压控制台边缘而发白。她盯着最左侧那块屏幕,上面显示着化学机械抛光机的实时数据:抛光头压力曲线像心电图般剧烈波动,最高值和最低值相差百分之十七,远超工艺规范允许的百分之五浮动范围。

“李工,什么情况?”她的声音压得很低,但控制室里每个人都听得清清楚楚。

工艺组长李志刚额头沁出汗珠,手指在键盘上飞快敲击:“压力传感器反馈异常,可能是液压系统进气,或者……抛光头下方的硅片夹具发生了微米级偏移。温总,需要停机检查吗?”

“停机检查需要多久?”

“至少四十分钟。要泄压、拆卸夹具、重新校准……”

温知秋看了眼流程进度条。化学机械抛光处于整个流片流程的第二十七道工序,前面二十六道已经耗时二十小时四十三分钟。如果现在停机四十分钟,后续工序的时序衔接会全部打乱,更严重的是——已经完成前序处理的硅片,在等待期间可能因为环境温度湿度变化而产生不可逆的形变。

“不能停。”她咬了下嘴唇,尝到血腥味——嘴唇又干裂了,“张总工呢?”

“在抛光机旁边,已经观察十分钟了。”李志刚调出车间内监控画面。

屏幕上,张克艰正弯着腰,脸几乎贴在抛光机的观察窗上。这位六十二岁的总工程师左手举着强光手电,右手拿着一块平板电脑,屏幕上实时显示着传感器数据。他的姿势很别扭,但异常稳定,像一尊雕塑。

“联系张总工。”温知秋说。

通讯耳机里传来沙沙声,然后是张克艰沉稳但略带急促的声音:“温总,我看到了。压力波动有规律——每隔二十三秒出现一次峰值,然后十七秒后出现谷值。这不是随机故障,是周期性干扰。”

“可能的原因?”

“我怀疑是抛光液供给管道里有气泡。气泡随着抛光液周期性进入抛光头区域,导致压力不稳。”张克艰停顿两秒,“但奇怪的是,抛光液循环系统有自动排气装置,理论上不应该出现这种情况,除非……”

“除非排气阀被人为干预了。”林峰的声音从控制室门口传来。

所有人都转过头。林峰不知何时站在那里,依旧穿着那件深灰色夹克,但衬衫领口松开了第一颗纽扣,眼里有熬夜的血丝,但眼神锐利如常。

“林省长。”温知秋下意识站直了些。

林峰走进控制室,目光扫过报警屏幕:“半小时前,秦风汇报,厂区外围监控捕捉到一个可疑信号——有人在尝试远程连接‘华夏芯’的设备管理系统。虽然防火墙拦截了,但对方用了七种不同的渗透手法,很专业。”

温知秋的脸色变了:“他们想远程操控设备?”

“不一定是操控,可能是收集数据,也可能是……埋后门。”林峰走到控制台前,看着那些波动的曲线,“张总工,如果排气阀被远程做了手脚,能在不拆机的情况下解决吗?”

张克艰在耳机里沉默了大约五秒:“可以尝试强制排气。抛光液循环系统有一个手动排气接口,在设备背面。但操作需要打开设备外壳,会破坏洁净环境,有污染风险。”

“污染风险和工艺失败风险,哪个更大?”林峰问的是温知秋。

温知秋的大脑飞速计算。抛光工序如果失败,这片晶圆上已经完成的二十六层结构就全废了——不仅仅是这片晶圆,整个流片流程要倒退到起点,重新开始。而如果打开设备外壳,最坏的情况是这片晶圆被污染报废,但设备修好后可以继续处理下一片。

“开外壳。”她咬牙说,“李工,准备应急洁净帐篷,在抛光机周围搭一个局部超净环境。张总工,需要几个人协助?”

“两个。要手稳、心细、熟悉这套设备结构的。”

“王工、陈工,你们去。”温知秋点了两个资深技术员的名字。

凌晨三点四十一分,应急洁净帐篷在抛光机周围搭建完成。那是一个透明的塑料罩子,内部有独立的空气过滤系统,能在设备局部创造百级洁净度(每立方米空气中大于等于05微米的尘粒数不超过100个)。王工和陈工穿好加强版无尘服,在张克艰的指挥下,开始拆卸抛光机背板。

控制室里,所有人都屏住呼吸。监控画面中,张克艰的手异常稳定,他用特制工具拧开十六个梅花螺丝,动作精准得像钟表匠。背板取下后,露出里面错综复杂的管路和阀体。

“找到了。”张克艰的声音通过麦克风传来,“排气阀的电磁驱动器……被人为调整过。复位弹簧的预紧力被调大了百分之三十,导致排气阈值升高,小气泡排不出去。”

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“能现场调整吗?”温知秋问。

“可以,但需要专用校准工具。我们的工具库里……没有这个规格。”

控制室陷入短暂的死寂。没有工具,就像外科医生没有手术刀。而时间在一分一秒流逝,抛光机还在运行,压力波动持续,每一秒都在磨损硅片表面已经成型的三维堆叠结构。

林峰忽然转身走出控制室。两分钟后,他回来了,手里拿着一个银色的金属盒子。

“七〇三所随行装备里带的。”他把盒子放在控制台上打开,里面是整套精密微调工具,从纳米级扭矩螺丝刀到激光校准仪,一应俱全,“张总工进车间前让我保管的,说‘以防万一’。”

温知秋看着那些工具,又看向林峰。这个男人总是在最绝望的时刻,拿出最关键的东西。

工具通过传递窗送入洁净帐篷。张克艰戴上放大镜,开始操作。监控画面放大到他的双手——那双布满老年斑但异常稳定的手,用零点五毫米的螺丝刀,精准地调整排气阀弹簧的预紧力。每拧四分之一圈,他就停一下,让陈工测量抛光液流量数据。

凌晨四点零七分,调整完成。

张克艰退后一步:“重新启动抛光程序。注意观察压力曲线。”

李志刚在控制台按下“继续运行”。抛光机发出低沉的嗡鸣,抛光头重新压向硅片。监控屏幕上,那条剧烈波动的心脏曲线,开始逐渐平缓——二十三秒后,峰值出现,但比之前降低了百分之四十;再过十七秒,谷值出现,比之前抬升了百分之三十五。

波动还在,但已经被压缩到工艺允许的百分之八范围内。

“可以继续。”张克艰的声音里透出疲惫,但更多的是如释重负,“但后续要密切监控,我怀疑其他关键阀体也可能被动过手脚。”

温知秋长长吐出一口气,感觉后背的衬衫已经被冷汗浸透。她转头看向林峰,想说什么,但林峰已经拿起手机走到角落。

电话是打给秦风的。

“查到了吗?”林峰的声音压得很低。

“查到了。”秦风在电话那头说,“远程渗透的源头在城南一处城中村的出租屋,我们的人十分钟前赶到,屋里没人,但找到一套专业级渗透设备,还有三台已经格式化的笔记本电脑。技术组正在尝试数据恢复。另外,在设备旁边发现了这个——”

秦风发来一张照片。照片上是一个银色金属徽章,徽章图案是一只抽象的狐狸,眼睛部位镶嵌着两颗微型红宝石。

“灰狐。”林峰眼神一冷,“果然是他们。”

“从设备使用痕迹看,对方至少在这里潜伏了三天。也就是说,从流片计划启动开始,他们就在准备破坏。”秦风顿了顿,“头儿,我担心这只是第一波。按照这种组织的行事风格,会有备用方案。”

“我知道。”林峰说,“厂区内外安保再升一级。告诉王猛,便衣队可以适当‘暴露’一些——让对方知道我们有所防备,可能能压制他们铤而走险的冲动。”

“明白。另外……许薇教授那边,一个小时前也出了状况。”

林峰眉头一皱:“说。”

“她实验室的备用电源系统突然故障,虽然主电源没断,但监控系统记录了三次异常电压波动。我怀疑是有人想测试他们的应急响应能力,或者……”秦风的声音更低了,“想制造一次‘意外停电’,在芯片设计数据保存的间隙。”

“许薇本人安全吗?”

“安全。实验室所在的园区安保级别很高,我们已经协调了当地公安加强巡逻。另外,许教授本人很警觉,她告诉我,重要的设计数据都有三重离线备份,其中一份物理备份在……她说在一个‘绝对安全的地方’,连她助理都不知道。”

林峰稍微放松了些。许薇的谨慎是出了名的,这也是为什么国家会把这么重要的架构设计交给她。

挂断电话,他走回控制台前。温知秋正在和张克艰沟通后续工序的注意事项,她的侧脸在屏幕冷光下显得格外专注,也格外脆弱。

凌晨五点,流片流程进入第三十二道工序——金属互联。这是整个芯片制造中最精细的步骤之一,要在三维堆叠结构的每一层之间,刻蚀出比头发丝细千倍的金属导线,连接数以亿计的晶体管。

控制室里的气氛再次紧绷。金属互联的失败率通常占整个流片失败原因的百分之四十以上,而“凤凰-i”用的是全新的三维堆叠结构,互联复杂度是传统平面芯片的八倍。

“温度,稳定在三百八十五度,正负零点五。”李志刚报数。

“真空度,十的负六次方帕斯卡,达标。”

“溅射靶材纯度,百分之九十九点九九九,达标。”

每一项参数都在绿色区间,但温知秋的眉头越皱越紧。太顺利了——顺利得反常。按照她的经验,新技术第一次流片,在这个环节至少会遇到三次重大报警。

果然,凌晨五点四十七分,警报来了。

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不是黄色,是刺眼的红色。

“等离子体不均匀!”操作员的声音变了调,“监控显示,溅射腔体东南角等离子体密度比西北角高百分之六十!这样镀出来的金属膜厚度会严重不均,导线电阻差会直接烧毁电路!”

温知秋冲到监控屏前。画面上,代表等离子体密度的彩色云图确实出现了严重偏斜,东南角是刺目的深红色,西北角却是浅蓝色。

“原因?”她的声音还算镇定。

“可能是……可能是磁场线圈出了问题。”张克艰的声音从车间传来,他正在金属互联设备旁,“这套设备的磁场校准系统用的是进口模块,我们之前拆解研究过,发现它的算法有缺陷——在长时间高功率运行后,线圈电流会因温漂而产生微小偏移,导致磁场不均匀。”

“能现场校准吗?”

“理论上可以,但需要……”张克艰顿了顿,“需要设备厂商提供的专用校准软件和密码。而我们没有。”

又一次死胡同。设备被锁,连校准权限都没有。

温知秋感觉太阳穴突突地跳。她闭上眼睛,脑海里快速闪过这三个月来所有的技术资料、所有的设备图纸、所有和七〇三所专家讨论的记录……

“等等。”她忽然睁开眼睛,“张总工,您说过,这套设备的磁场校准本质上是控制十二组线圈的电流配比,对吗?”

“对。”

“那如果我们不通过厂商软件,直接用物理方式调整呢?”温知秋语速加快,“我记得设备维护手册里提到过,每台设备出厂前都会做一次手动校准,方法是打开设备侧面的检修面板,用机械式电流表测量每组线圈的实时电流,然后手动调整对应的可变电阻……”

张克艰沉默了。几秒后,他的声音传来,带着难以置信的震惊:“温总,你是想……用二十年前的老办法,来校准这台最先进的设备?”

“老办法只要管用,就是好办法。”温知秋已经走向控制室门口,“李工,去工具库找机械式电流表,要精度万分之五以上的。王工,准备打开设备检修面板。张总工,我需要您告诉我,十二组线圈的理想电流配比是多少。”

凌晨六点零三分,检修面板打开。设备内部复杂的线圈和电路暴露在空气中,像某种精密生物的神经丛。

温知秋和张克艰并肩站在设备前,两人都戴着放大镜眼镜。温知秋手里拿着机械电流表——那是个老旧的模拟式仪表,表盘上的指针随着电流变化微微颤动。张克艰手里拿着平板,屏幕上是他刚刚计算出的十二组线圈理想电流值。

“第一组,目标电流三点七五安培。”张克艰说。

温知秋将电流表的探针精确地接触到第一组线圈的测试点上。指针摆动,停在三点七二安培的位置。

“偏负百分之零点八。”她汇报。

张克艰在平板上记录,然后指向线圈旁边的可变电阻:“顺时针微调十五度。”

温知秋用特制的绝缘螺丝刀,轻轻拧动那个米粒大小的电阻。她的动作极其缓慢,每拧五度就停一下,让张克艰读取电流值。三点七三、三点七四、三点七四八……

“停。”张克艰说,“三点七四九,误差百分之零点零二七,在允许范围内。”

第一组校准完成。用时六分半。

接下来是第二组、第三组……当校准到第七组时,温知秋的手已经开始微微颤抖——不仅是疲劳,还有长时间保持精细动作带来的肌肉痉挛。她咬紧牙关,把左手垫在右手手腕下,用身体的稳定来抵消颤抖。

张克艰看了她一眼,没说话,只是把平板电脑的屏幕亮度调高了些。

凌晨六点五十八分,第十二组线圈校准完成。

“重启设备。”温知秋的声音已经嘶哑得几乎听不清。

金属互联设备重新启动。监控屏幕上,那幅代表等离子体密度的彩色云图开始变化——东南角的深红色逐渐变浅,西北角的浅蓝色逐渐变深,两分钟后,整幅图变成均匀的淡绿色。

“等离子体不均匀度,百分之四点三,达标!”操作员的声音带着哭腔。

控制室里爆发出压抑的欢呼。几个年轻技术员互相击掌,但立刻被李志刚用眼神制止——流程还没结束,不能放松。

温知秋退后两步,扶住旁边的设备支架。她感觉眼前发黑,耳朵里嗡嗡作响,是低血糖和过度疲劳的反应。一只手从旁边伸过来,手里拿着一块巧克力。

林峰不知何时也进了车间,就站在她身侧。

“补充点能量。”他说,声音很轻,“后面还有十六道工序,你不能倒在这里。”

温知秋接过巧克力,撕开包装,塞进嘴里。甜腻的味道在口腔里化开,血糖回升带来的眩晕感稍微缓解。她转头看向林峰,想道谢,但发现林峰的目光正越过她,看向车间的观察窗。

窗外,天色已经开始泛白。深蓝色的夜幕边缘,渗出一丝鱼肚白。

“天快亮了。”林峰说。

温知秋顺着他的目光看去。是啊,天快亮了。从十二月三十日凌晨三点启动流片,到现在已经过去了二十八小时。最困难的工序已经闯过,剩下的十六道虽然也不简单,但都是相对成熟的标准工艺。

希望,第一次如此真实地触手可及。

上午七点三十分,流片进入最后阶段——封装测试。这是将制造完成的芯片从晶圆上切割下来,封装到保护外壳里,然后进行功能测试。

封装车间里,气氛凝重到极点。所有人都知道,成败在此一举。

温知秋站在测试仪前,看着机械臂将第一片封装完成的芯片放入测试插座。测试仪屏幕亮起,开始自动运行一千三百二十七项测试项目——从基本通电测试,到逻辑功能验证,到性能跑分,到功耗测量,到高温高湿环境下的稳定性测试……

每一项测试都需要时间。而每一项测试结果,都会实时显示在大屏幕上。

第一项,通电测试:通过。

第二项,时钟同步:通过。

第三项,基础逻辑门验证:通过。

……

测试一项项进行,绿色的“pass”标志不断跳出。但没有人欢呼,因为所有人都知道,真正的考验在后面。

上午八点十七分,测试进行到第八百九十三项——ai推理性能基准测试。这是“凤凰-i”芯片的核心设计目标,也是许薇团队全新架构的价值所在。

测试仪开始运行标准的图像识别算法。屏幕上,测试进度条缓缓推进:百分之十、百分之二十、百分之三十……

温知秋屏住呼吸。她的手无意识地攥紧了那枚芯片书签,金属边缘硌得掌心生疼。

进度条走到百分之百。

测试仪停顿了三秒——这是数据计算和结果比对的时间。这三秒,对车间里所有人来说,像一个世纪那么长。

然后,屏幕跳出一行字:

“推理性能:达到设计指标的百分之八十五。测试结果:pass。”

短暂的死寂。

紧接着,控制室里爆发出震耳欲聋的欢呼声!有人跳起来,有人抱住身边的人,有人摘下口罩大口喘气然后又开始笑。李志刚这个四十多岁的大男人,直接蹲在地上,双手捂着脸,肩膀剧烈抖动。

温知秋站在原地,一动不动。她盯着屏幕上那行字,一遍遍地看,好像不敢相信自己的眼睛。

百分之八十五。达到了设计指标的百分之八十五。

这意味着什么?意味着用28纳米成熟工艺,通过三维堆叠和全新架构,他们做出了相当于国际大厂14纳米工艺的ai推理芯片性能!虽然还有百分之十五的差距,但这已经是奇迹——一个在设备被锁、工艺不熟、时间紧迫的绝境中创造的奇迹!

后续测试还在继续。功耗测试结果:比设计目标降低百分之四十;稳定性测试:高温高湿环境下连续运行七十二小时无故障;良品率预估:百分之三十一点七,虽然低,但对于第一次流片、采用全新工艺的专用芯片来说,已经是超出预期的成绩。

上午八点四十六分,所有测试完成。

温知秋转过身,面向车间里所有人。她的目光扫过每一张脸——张克艰疲惫但欣慰的脸,李志刚泪流满面的脸,那些年轻技术员激动得通红的脸,还有站在角落、静静看着这一切的林峰。

她张开嘴,想说什么,但喉咙像被什么堵住了。八年了,从留学归来创立“华夏芯”,到四处求人融资,到技术路线选择失误,到被国际大厂打压,到设备断供,到资金链几度断裂,到三个月前濒临破产……她走了太多的夜路,跌了太多的跟头。

而现在,天终于亮了。

泪水毫无预兆地涌出。温知秋没有擦,任由泪水顺着脸颊滑落,滴在无尘服的前襟上,晕开深色的水渍。她向前走了一步,又一步,脚步有些踉跄,但方向明确——走向林峰。

在所有人注视下,她伸出双臂,抱住了林峰。

那个拥抱很短暂,不到三秒。但很用力,用力到林峰能感觉到她身体的颤抖,能感觉到她滚烫的泪水透过衬衫渗到皮肤上。她在林峰耳边轻声说,声音哽咽但清晰:

“谢谢。”

然后她松开手,后退一步,擦了擦眼泪,转身面向所有人,脸上绽放出这三个月来第一个真正的、毫无负担的笑容。

林峰站在原地,肩膀处衬衫上的湿痕还在。他环视车间,看着这些激动的人们,缓缓开口,声音不大,但穿透了所有的欢呼声:

“我代表东海省委、省政府,宣布三件事。”

车间里瞬间安静下来。

“第一,给‘华夏芯’所有参与本次流片的核心技术人员,每人发放二十万元特别奖金。这笔钱从省科技创新专项基金里出,三天内到账。”

掌声雷动。

“第二,省政府将成立专项工作组,全力支持‘凤凰-i’芯片的产业化推进。从政策、资金、市场三个维度,确保这款芯片在六个月内实现量产,一年内进入国内主流ai服务器供应链。”

更大的掌声。

“第三,”林峰顿了顿,目光扫过温知秋、张克艰,扫过车间里每一双充满希望的眼睛,“今天流片成功,不是结束,是开始。是华夏半导体产业走自主创新道路的开始,是东海省构建现代化产业体系的开始,也是你们每一个人职业生涯新篇章的开始。”

他向前走了一步,声音提高,带着不容置疑的力量:

“记住今天这个早晨。记住你们亲手造出的这颗芯片。未来十年、二十年,当华夏的芯片产业真正站起来的时候,你们可以骄傲地说——在那个最困难的冬天,是我们,在东海,在28纳米的极限处,跳出了第一支舞!”

掌声、欢呼声、哭泣声,响成一片。

窗外,清晨的阳光终于穿透云层,洒进车间。光线照在那些精密的设备上,照在人们含泪的笑脸上,照在测试仪屏幕上那个绿色的“pass”标志上。

温知秋抬起手,挡在眼前。阳光从指缝间漏下来,温暖而明亮。

她忽然想起林峰说过的那个比喻:在成熟工艺的极限处,跳出一支新舞。

现在,舞跳完了。

而凤凰,真的浴火重生了。

本章完

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