第56章 投影式光刻机(1 / 1)

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过完年,入春之后,国内遭受旱灾的耕地面积有了大幅收缩。

其实以正常年份来看,今年也是个灾年,但前两年实在太严重了,相比之下,今年的受灾耕地面积连去年的一半都没有,已经是大为改善了。

城市供销社的农副产品已经不再缺货,每人的口粮配额再次小幅增加,大家的生活也渐渐恢复正常。

这天上午,徐卫国来到单位后,第一时间赶去了光刻机实验室。

历经两年有馀的研发,他们的投影式光刻机已经来到了收尾阶段,他每天都得去看看进展。

进了实验室大门,刚走几步,徐卫国突然顿住了。他转身,走到旁边的掩膜台项目组,推开虚掩的门往里瞧了眼,屋里没人。

整栋楼都安静的吓人,完全不象有几百号人的样子。

“章立军?干什么呢你们?人都去哪了?”徐卫国喊道。

一边喊着,他快步往放置光刻机的房间走去。

转过拐角,走廊里乌泱泱站满了人,全都瞪着熬得红通通的眼睛,一声不吭的看着徐卫国,吓了他一跳。

“不在自己工位,都在这干什么呢?”徐卫国喊道。

没人说话。

“说话啊你们,傻了吗?”徐卫国的心一下子紧绷起来,他看向站在人群最前方的室长章立军:“章立军,你们在这搞什么,出什么问题了?”

章立军微微低下头,还是不吭声。

徐卫国快步走上前,使劲拍了拍章立军的骼膊:“你哑巴了?说话啊?出什么问题了?样机损坏?还是……有人猝死了?”

章立军抬起头,小声道:“所长……”

“你特么倒是说啊!”

“我们……成功了!”

走廊上突然响起震耳的欢呼声,众人跟突然活过来了一般,一拥而上,架着徐卫国的骼膊腿就抬了起来。

“放下,放下我,我恐高!帮傻蛋!”

众人抬着徐卫国走进存放光刻机样机的房间,这才把他放下来。

看着面前与一辆小货车体积相当的庞大机器,徐卫国也顾不上恼火了,问道:“什么时候完成的?”

章立军笑嘻嘻的道:“凌晨五点。”

徐卫国心里松了口气,走到机器前,盯着看了一阵。

接着,他突然转过身,冷冷的看着喜气洋洋的众人。

被他这么盯着,众人脸上的笑容一僵,有些无措。

随后,徐卫国目光扫向章立军。

章立军也有点懵,怯怯的道:“老……所长!”

沉默,足足七八秒的沉默后,徐卫国嘴角才浮起一丝笑意,道:“干的不错!”

他这一笑,其他人紧张的神经这才放松下来。

“你吓我一跳,我还以为哪出问题了呢!”章立军苦着脸道。

徐卫国轻哼一声,“你们吓唬我,就不许我吓唬你们?……行了,都回去休息吧!休息好了再回来工作。”

“我们不困,现在就安排生产集成电路样品试试呗?”

“对啊,我们还能扛!”

徐卫国扬了扬手,道:“行了行了,机器都做出来了,不差这一天。明天吧,明天再开始吧!”

这年代集成电路的生产过程还是很漫长的,尤其是集成的电子元器件越来越多,从一块硅片到变成封装好的成品,实际生产过程常常需要数周。

当然,其中大部分时间都耗费在了各个流程之间的准备等待过程中,而真正制造过程耗费的时间,则大概要十几个小时。

……

转眼到了第二天,徐卫国来到单位后,使用新设备的集成电路样品试生产工作正式开始。

制造集成电路,只有光刻机当然是不够的,还需要薄膜沉积设备、刻蚀设备、掺杂设备、清洗设备、检测设备、封装设备,总共六大项。

这六类设备在他们研究所有不同实验室负责,都是几十人的小团队。

从它们的复杂程度跟研制难度来说,自然是远不及光刻机的,去年底的时候就已经完成了研发。如今光刻机也做出来了,那么集成电路的制造工作也就打通了全技术链条。

徐卫国首先前往各相关实验室,布置任务。

晶圆他们有现成的,这东西能长期存储,不需要再从石英砂开始生产了。

集成电路版图设计图纸也有现成的,直接用新款计算器上的同款,毕竟他们只是要验证生产设备的功能,暂时不需要集成那么多电子元器件。

真正开始的第一步,是根据电路版图制造掩模。

因为电路版图已经相当复杂,已经不可能再象初期那样手工制造掩模,必须使用一种新设备,图形发生器。

这东西就是一个将电路设计图“雕刻”到掩模版上的设备,其中还需要用到高性能计算机,其原理就是使用计算机将版图设计文档分解成简单的基本图形单元,随后计算机控制可变矩形光阑的矩形孔不断变化方向跟大小,在这个过程中光源照射矩形光阑,对其进行曝光、最后在掩模版上拼接成完整图形。(可变矩形光阑是由金属刀片组成的,开口大小可调整的矩形孔)

此时的图形发生器使用的是纯光学方法,效率很低,后世已经采用激光直写技术。

完成掩模制造后,接着就要拿去做薄膜沉积、继而光刻、随后刻蚀、离子注入,晶圆测试,封装。

为了尽快拿到集成电路样品,徐卫国给各实验室安排好了时间表,晚上也不停,人跟着制造流程走。

就在这样不间断的工作下,等第一块集成电路封装完成,也已经是五天后了。

拿到样品后,实验室第一时间对其进行了功能性验证,结果全部合格。

接下来最重要的事,则是测量其加工精度,最内核的指标是特征尺寸。

所谓特征尺寸,打个比方就是笔尖有多细,越细越好,越细就能写出越小的字。

后世常说的芯片采用几纳米工艺,指的就是特征尺寸。

他们使用的光刻机,理论上已经能加工亚微米级、也就是从100纳米到1微米级别特征尺寸的集成电路,但实际效果还不知道。

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